Новый растровый микроскоп с термополевой эмиссией (катод Шоттки) MODULESCI PicoEye 200k.
Работа над этим микроскопом велась с начала
В 2017 году коллектив разработчиков основал свою компанию MODULESCI.
Эта компания, единственная в Южной Корее, смогла вывести на рынок РЭМ с термополевым катодом Шоттки.
Краткие характеристики PicoEye 200K
|
Источник электронов |
Катод Шоттки |
|
Разрешение |
1,5 нм |
|
Увеличение |
х20 ~ х600 000 |
|
Максимальное разрешение сканирования |
5120*3840 |
|
Напряжение |
0,5 ~ 30 кВ |
|
Уровень вакуума в пушке |
10-10 торр |
|
Предметный столик |
Шлюзовое исполнение: размер образца до 30 мм, моторизация по 3 осям (X, Y, Z) |
|
Камерное исполнение: размер образца до 50 мм, моторизация по 5 осям (X, Y, Z, наклон, вращение) |
|
|
Время откачки после смены образца |
Шлюзовое исполнение — 1 минута |
|
Камерное исполнение — 5 минут |
|
|
Опции |
BSE, EDS, оптическая навигация (только в камерном исполнении) |
В растровой электронной микроскопии используют три основных типа электронных пушек.
Типы электронных пушек:
- с термоэлектронной эмиссией (Thermal Emission — TE);
- с термополевой эмиссией, основанной на эффекте Шоттки (Shottky Emission — SE);
- с полевой эмиссией (Field emission — FE).
Основные характеристики электронных пушек представлены в таблице и диаграмме.
|
Параметр |
Единица измерений |
Вольфрам |
Катод Шоттки |
Полевая эмиссия |
|
Работа выхода |
эВ |
4,5 |
3,0 |
4,5 |
|
Рабочая температура |
К |
2700 |
1700 |
300 |
|
Плотность тока (при 100 кВ) |
А/м2 |
5 |
105 |
106 |
|
Яркость (при 100 кВ) |
А/м2стер |
5*1010 |
5*1012 |
5*1013 |
|
Разброс по энергии (при 100 кВ) |
эВ |
3 |
0.7 |
0.3 |
|
Стабильность тока эмиссии |
%/час |
<1 |
<1 |
5 |
|
Вакуум |
Па |
10-2 |
10-6 |
10-9 |
|
Время жизни |
Ч |
100 |
>5000 |
>5000 |
Из радиальной диаграммы видно, что пушка FE имеет преимущество перед остальными по размеру электронного источника, сроку службы и энергии рассеяния электронного пучка.
Пушка TE имеет самые лучшие характеристики тока зонда, но проигрывает по всем другим параметрам. Принимая во внимание данные характеристики, можно констатировать, что FE-пушка больше подходит для изучения морфологии на больших увеличениях, пушка TE-типа удобна для универсальных приложений, таких как микроанализ, не требующий большого увеличения.
Пушка с катодом Шоттки (SE) занимает промежуточное положение между этими двумя электронными пушками, обладая их преимуществами (хотя и уступая в них другим пушкам), но не имея их недостатков, что делает пушку с катодом Шоттки наиболее универсальным решением. При этом область её применений варьируется от визуальных исследований при большом увеличении до разных видов микроанализа.
Ознакомьтесь с подробными характеристиками данной модели по ссылке
Остались вопросы?
Свяжитесь с нами любым удобным способом:
e-mail: info@arttool.ru
Прибор является полностью работоспособными, с гарантией от поставщика. Качество отвечает требованиям стандартов и подтверждено документами.
Товар не собран из восстановленных узлов и агрегатов, имеет характеристики, соответствующие техническим описаниям производителя.
Не является публичной офертой.