14 Марта 2022
Автор и должность
Александр Фролов, начальник отдела
Отдел
ООО "Остек-АртТул"

Новый растровый микроскоп с термополевой эмиссией (катод Шоттки) MODULESCI PicoEye 200k.

Работа над этим микроскопом велась с начала 2000-х на базе Корейского Исследовательского Института Стандартов и Науки (KRISS).

В 2017 году коллектив разработчиков основал свою компанию MODULESCI.

Эта компания, единственная в Южной Корее, смогла вывести на рынок РЭМ с термополевым катодом Шоттки.

Краткие характеристики PicoEye 200K

Источник электронов

Катод Шоттки

Разрешение

1,5 нм

Увеличение

х20 ~ х600 000

Максимальное разрешение сканирования

5120*3840

Напряжение

0,5 ~ 30 кВ

Уровень вакуума в пушке

10-10 торр

Предметный столик

Шлюзовое исполнение: размер образца до 30 мм, моторизация по 3 осям (X, Y, Z)

Камерное исполнение: размер образца до 50 мм, моторизация по 5 осям (X, Y, Z, наклон, вращение)

Время откачки после смены образца

Шлюзовое исполнение — 1 минута

Камерное исполнение — 5 минут

Опции

BSE, EDS, оптическая навигация (только в камерном исполнении)


В растровой электронной микроскопии используют три основных типа электронных пушек.

21614318277.png

Типы электронных пушек:

  • с термоэлектронной эмиссией (Thermal Emission — TE);
  • с термополевой эмиссией, основанной на эффекте Шоттки (Shottky Emission — SE);
  • с полевой эмиссией (Field emission — FE).

Основные характеристики электронных пушек представлены в таблице и диаграмме.

Параметр

Единица измерений

Вольфрам

Катод Шоттки

Полевая эмиссия

Работа выхода

эВ

4,5

3,0

4,5

Рабочая температура

К

2700

1700

300

Плотность тока (при 100 кВ)

А/м2

5

105

106

Яркость (при 100 кВ)

А/м2стер

5*1010

5*1012

5*1013

Разброс по энергии (при 100 кВ)

эВ

3

0.7

0.3

Стабильность тока эмиссии

%/час

<1

<1

5

Вакуум

Па

10-2

10-6

10-9

Время жизни

Ч

100

>5000

>5000

111.jpg

Из радиальной диаграммы видно, что пушка FE имеет преимущество перед остальными по размеру электронного источника, сроку службы и энергии рассеяния электронного пучка.

Пушка TE имеет самые лучшие характеристики тока зонда, но проигрывает по всем другим параметрам. Принимая во внимание данные характеристики, можно констатировать, что FE-пушка больше подходит для изучения морфологии на больших увеличениях, пушка TE-типа удобна для универсальных приложений, таких как микроанализ, не требующий большого увеличения.

Пушка с катодом Шоттки (SE) занимает промежуточное положение между этими двумя электронными пушками, обладая их преимуществами (хотя и уступая в них другим пушкам), но не имея их недостатков, что делает пушку с катодом Шоттки наиболее универсальным решением. При этом область её применений варьируется от визуальных исследований при большом увеличении до разных видов микроанализа.

Ознакомьтесь с подробными характеристиками данной модели по ссылке

Остались вопросы?

Свяжитесь с нами любым удобным способом:

+7 (495) 788-44-44, доб.: 6524, 6526, 6527
e-mail: info@arttool.ru

Прибор является полностью работоспособными, с гарантией от поставщика. Качество отвечает требованиям стандартов и подтверждено документами.

Товар не собран из восстановленных узлов и агрегатов, имеет характеристики, соответствующие техническим описаниям производителя.

Не является публичной офертой.