Размер (мм)
|
750 x 830 x 1200 (ширина x глубина x высота)
|
Источник электронов
|
Автоэмиссия (диод Шоттки)
|
Разрешение
|
1.5 нм
|
Увеличение
|
x20 ~ x1,000,000
|
Вакуумная система электронной пушки
|
10-10 торр
|
Ускоряющее напряжение
|
0.5 ~ 30 кВ
|
Механизированная ступень
|
Скользящий тип: Размер образца до 30 мм, механизированный по 3 осям (X, Y, Z)
|
Камерный тип: Размер образца до 50 мм, механизированный по 5 осям (X, Y, Z, вращение, наклон)
|
Опция
|
BSE, EDS, Optic navigation (for chamber type only)
|
Спецификация
|
Источник электронов
|
Автоэмиссия (диод Шоттки)
|
Детектор
|
СЭ
|
Разрешение
|
1.5 нм
|
Увеличение
|
X20~x1,000,000
|
Режим вакуума
|
10-10 торр
|
Система вакуума
|
Ротационный насос, ТМН, магниторазрядный насос
|
Цикл
|
Скользящий тип: механизированный по 3 осям
X: 0~30mm
Y: 0~30mm
Z: 5~50mm
|
Камерный тип: механизированный по 5 осям
X: 0~50 мм
Y: 0~50 мм
Z: 5~50 мм
|
Наклон: -20°~45°
Поворот: 360°
|
Максимальный размер образца
|
Скользящий тип
Диаметр: Ø 30
Высота: 5 мм
Камерный тип 50 х 50 х 45 мм
|
Размер (ширина x глубина x высота)
|
Основной блок t: 750 x 830 x 1200 мм
Блок управления: 500 x 530 x 580 мм Ротационный насос: 400 x 150 x 200 мм
|
Автоматическая функция
|
Автофокусировка, автоматическая яркость/ контрастность
|
Дисплей
|
Сканирование изображения: RED(320x240), FAST(640x480), SL0W1 (640x480), SLOW2(640x480)
Скан фото : 640 x 480 /1280 x 960 / 2560 x 1920 / наложение(1280 x 960)
|
Формат изображения
|
BMP, JPEG
|
ОС
|
Windows 10
|
Действие
|
Мышь/клавиатура
|
Источник питания
|
1.6 кВт, 220 Вольт одна фаза
|
Опция
|
BSE, EDS, оптическая навигация
|