Кассеты для кремниевых пластин — это специализированные контейнеры, используемые для безопасного хранения, транспортировки и обработки хрупких кремниевых пластин. Они играют важную роль в полупроводниковом производстве. Кассеты предотвращают физические повреждения и загрязнение пластин во время литографии, травления и очистки.
• Материал кассеты обеспечивает низкий уровень ионного загрязнения и минимальное газовыделение, соответствуя самым строгим требованиям к упаковке пластин в чистых помещениях
• Кассету можно использовать в автоматизированных портах загрузки, роботах-переносчиках и системах хранения полупроводниковых материалов