Кассеты для кремниевых пластин — это специализированные контейнеры, используемые для безопасного хранения, транспортировки и обработки хрупких кремниевых пластин. Они играют важную роль в полупроводниковом производстве. Кассеты предотвращают физические повреждения и загрязнение пластин во время литографии, травления и очистки.
Особенности:
• Материал: PFA/Teflon
• Цвет: полупрозрачный-белый
• Материал кассеты обладает исключительной устойчивостью к сильным кислотам, плавиковой кислоте и щелочам, сохраняя структурную целостность при непрерывных рабочих температурах до 220°C
• Материал кассеты обеспечивает низкий уровень ионного загрязнения и минимальное газовыделение, соответствуя самым строгим требованиям к упаковке пластин в чистых помещениях
• Кассету можно использовать в автоматизированных портах загрузки, роботах-переносчиках и системах хранения полупроводниковых материалов
Технические характеристики:
• Размер пластины: 100 мм (4")
• Вместимость, max: 25 шт.
• Внешние размеры (ДхШхВ): 141,3x125x113,6 мм