Настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами DST3 используется для напыления металлов, диэлектриков, полупроводников на подложки диаметром до 200 мм
Простая конструкция и интуитивно понятный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов. Доступно 2 конфигурации установки магнетронного напыления: DST3 A - угол наклона катодов 30° и DST3 B- катоды выстроены с линию.
Опции
Вращающийся подложкодержатель;
Дополнительная камера (материал Pyrex);
ВЧ источник питания 600Вт;
N2 для напуска;
Мишени для напыления;
Кристаллы кварца для датчика толщины.
Доступны 2 конфигурации:
DST3 А — с 30˚ наклоном катодов;
DST3 S — катоды выстроены с линию.
Особенности:
Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро
проводить обработку образцов;
Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов;
Перенос параметров процесса на USB носитель.
Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами
диаметром до 200мм;
Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры;
Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления;
Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой
точностью управлять процессом напыления;
Автоматический контроль температуры катодов;
Ручная и автоматическая обработка;
Напыление по времени или по требуемой толщине;
Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика;
Защита от перегрева образца;
Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру