Настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами DST3 используется для напыления металлов, диэлектриков, полупроводников на подложки диаметром до 200 мм
Простая конструкция и интуитивно понятный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов. Доступно 2 конфигурации установки магнетронного напыления: DST3 A - угол наклона катодов 30° и DST3 B- катоды выстроены с линию.
Опции
Вращающийся подложкодержатель;
Дополнительная камера (материал Pyrex);
ВЧ источник питания 600Вт;
N2 для напуска;
Мишени для напыления;
Кристаллы кварца для датчика толщины.
Доступны 2 конфигурации:
DST3 А — с 30˚ наклоном катодов;
DST3 S — катоды выстроены с линию.
Особенности:
Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро
проводить обработку образцов;
Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов;
Перенос параметров процесса на USB носитель.
Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами
диаметром до 200мм;
Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры;
Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления;
Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой
точностью управлять процессом напыления;
Автоматический контроль температуры катодов;
Ручная и автоматическая обработка;
Напыление по времени или по требуемой толщине;
Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика;
Защита от перегрева образца;
Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру
Вакуумная камера
Диаметр 300 мм, Высота 180мм
Материал
Pyrex
Количество магнетронов
3 с водяным охлаждением (опционально 1 или 2)
Диаметр магнетрона
2" (опционально 4")
Источник питания магнетрона
0-1000 мА
Вакуумная система
Турбомолекулярный насос
Сухой форвакуумный насос
Предельный вакуум
9х10-6 Торр
Расстояние между магнетроном и подложкой
Регулируемое, 4-10 см
Датчик давления
Aтм - 1x10-6 мбар
Газовая линия
Ar, с прецизионным регулятором (MFC)
Система управления
На основе PLC
Цветной, сенсорный экран
7"
Питание
220 Вт, 50 Гц, 6 А
Вес (без форвакуумного насоса)
27 кг
Габаритные размеры (ШхГхВ), см
60 х 50 х 47
Запросить в один клик
Заказать звонок
Запрос оборудования на тестирование
?>
Сайт использует файлы cookie, обрабатываемые вашим браузером. Подробнее об этом вы можете узнать в Политике cookie.