Ультразвуковая акустическая микроскопия, как метод неразрушающего контроля, позволяет выявлять дефекты или особенности внутренней структуры приборов или компонентов в тех случаях, когда другие методы сканирования оказываются неэффективными
Базовым способом поиска дефектов является эхо-метод (метод отраженных импульсов). В однородной среде твердого тела любая граница раздела будет приводить к отражению волны. Рабочая голова микроскопа регистрирует обратный сигнал, позволяя по эхограмме определить размеры дефекта и его расположение
В микроэлектронике акустическая микроскопия применяется для выявления дефектов выводов flip-chip микросхем, пустот и расслоений, образующихся при монтаже и заливке кристаллов, трещин и повреждений микросхем и т. п. К другим применениям технологии ультразвукового сканирования можно отнести поиск следов затертой маркировки электронных компонентов, осуществляя непрерывный контроль производства от входа до выхода
Примеры применения
Преимущества
простой принцип действия;
высокая проникающая способность акустической волны;
высокая чувствительность, позволяющая распознавать субмикронные дефекты;
возможность объемного контроля;
возможность исследования широкой номенклатуры помимо изделий электронной промышленности;
поиск внутренних дефектов в компонентах flip-chip;
выявление дефектов герметизации в микросхемах;
выявление следов перемаркировки компонентов;
контроль расслоения на подложках и печатных платах;
поиск дефектов монтажа кристаллов (загрязнения, расслаивание адгезива, пустоты и др.);
выявление дефектов в LTCC;
контроль монтажа на уровне пластин FI/FO WLP;
контроль монтажа MEMS/MOEMS;
безопасность для оператора и среды.
Ультразвуковой генератор/приёмник
Диапазон частот: 1 – 50 МГц
Достаточная полоса частот для проверки большинства печатных плат с EMC
Аналогово-цифровой преобразователь
Частота дискретизации 500 MС/с в реальном времени, 8 бит
Механический сканер
Ось сканирования (линейный серводвигатель), максимальная скорость 750 мм/с, повторяемость +/-1 микрон, разрешение энкодера 1 микрон
Ось индекса – микрошаговый двигатель со свинцовым винтом, шаг 1 мкм
Вертикальная ось – микрошаговый двигатель со свинцовым винтом, максимальный ход 80 мм, шаг 1 микрон
Общее
Размеры резервуара для иммерсионной жидкости 430 мм x 410 мм x 90 мм