121087, г. Москва, ул. Барклая, д. 6, стр. 3, эт/ком 5/1-17
(495) 788-44-44, (495) 788-44-42
www.arttool.ru, info@arttool.ru
ИНН 7731481038, КПП 773001001, ОГРН 5147746189036,
ОКПО 99721242
Печать/PDFТипичное применение
|
Модель продукции |
PS561 |
|||
|
Основные параметры |
Диапазон измерения |
Ось X |
0~100 мм |
|
|
Ось Z |
0~300 мм |
|||
|
Параметры контура |
Диапазон измерения |
Ось Z1 |
±30 мм |
|
|
Разрешение |
Минимальное разрешение 0.001 мкм |
|||
|
Точность измерения |
Ось X * 1 |
≤± (0.6+0.015 L) мкм (L, мм) |
||
|
Линейная точность Z1 * 2 |
≤± (0.6+0.05 H) мкм (H, мм) |
|||
|
Погрешность кривизны (диаметр) * 3 |
≤± (1+R/15) мкм (R, мм) |
|||
|
Угловая погрешность * 4 |
≤±1′ |
|||
|
Скорость перемещения |
Ось X |
0~20 мм/с |
||
|
Ось Z |
0~20 мм/с |
|||
|
Скорость сканирования (ось сканирования) |
0.05~5 мм/с |
|||
|
Способность преодолевать подъем |
Уклон на подъеме 77°, уклон на спуске 88° |
|||
|
Прямолинейность (Ось сканированияX) * 5 |
≤1 мкм/100 мм |
|||
|
Измерение силы |
10~150 мН регулируемое |
|||
|
Параметры шероховатости |
Диапазон измерения |
Ось Z0 * 6 |
±400 мкм или ± 1000 мкм |
|
|
Тип датчика |
Безрельсовый |
|||
|
Применимый диапазон измерения |
Ra 0.1 мкм~Ra 64 мкм |
|||
|
Измерение силы |
Около 1 мН |
|||
|
Разрешение |
Ось Z0 |
Минимальное разрешение 0.001 мкм |
||
|
Точность измерения |
Погрешность индикации * 7 |
≤± (5nm+2.5%A) мкм (A, измерение номинального значения Ra, мкм) |
||
|
Повторяемость * 8 |
≤1 нм |
|||
|
Скорость сканирования |
0.05~0.5мм/с |
|||
|
Остаточный шум / остаточный контур |
≤0.005 мкм |
|||
|
Параметры измерения |
Шероховатость R: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rd-c,Rmr,Rmax, Rpm,tp, Htp, Pc, Rda, Ry, Sm, S, Rpc, RzJ; Шероховатость середины: Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,M- r2,A1,A2,Vo; Параметры контура P: Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,P-Pc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; Параметры волнистости контура W: Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WS-m,Wsk,Wku,Wdq,Wdc, Wmr,Wpc,Wc; Параметры Motif: R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte |
|||
|
Волновой фильтр |
Волновой фильтр Гаусса, волновой фильтр 2RC, волновой фильтр нулевой фазы |
|||
|
Длина волнового фильтра |
0.008, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8.0, 25 мм (опционально) |
|||
|
Длина оценки |
Максимальное кратное число автоматического расчёта длины отбора в соответствии с измеренной длинной |
|||
|
Измерение толщины пленки |
Диапазон измерения |
В пределах 60 мкм |
||
|
Точность измерения |
2%H (H, измерение общей высоты, мкм) |
|||
|
Габариты оборудования (ДXШXВ) |
600×350×890 (мм) |
|||
|
Вес оборудования |
Около 115 кг |
|||
*1 Данный индекс точности является стандартом измерения стандартного шага. *2 Данный индекс точности является стандартом точности измерительного блока.
*3 Данный индекс точности является стандартом испытания стандартной сферы и измерения дуги величиной более 90 градусов. *4 Данный индекс точности является стандартом измерения углов многогранника.
*5 Данный индекс точности является стандартом измерения плоского кристалла.
*6 Два выбора диапазона датчика Z0: ±400 мкм и ±1000мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±400 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±400 мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±1000 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±500 мкм/± 1000 мкм.
*7 Данная точность шероховатости является стандартом измерения шероховатости поверхности сравнительных образцов в условиях калибровки сферы.
*8 Данный индекс повторяемости является стандартом тестирования с использованием образца шероховатости прямоугольной волны