На последнем этапе полировки, когда необходимо удалить оставшиеся шероховатости, применяются оксидные суспензии с размером зерна менее микрометра.
Для общего применения предлагаются суспензии на основе оксида алюминия, а для повышенных требований идеальным выбором будут суспензии на основе оксида кремния.
Данные суспензии обеспечивают химико-механическую полировку. Во время процесса поверхность образца подвергается небольшому химическому воздействию. Образующийся слой удаляется зернами оксида кремния, размеры которых не превышают микрона. Благодаря этому поверхность образца не деформируется.
Мы предлагаем широкий ассортимент суспензий на основе оксидов кремния и алюминия для окончательной полировки различных материалов:
• коллоидная суспензия со сверхмалыми зернами оксида кремния;
• размер зерна от 0,050 до 0,2 мкм (от 50 до 200 нм);
• уникальная система для предотвращения кристаллизации;
• уникальная безводная суспензия на основе оксида кремния с размером зерна 0,2 мкм;
• нейтральная суспензия на основе оксида алюминия.