Модель прибора *1
|
IntoM OP300
|
Габариты прибора
|
(1000X900X1500) мм
|
Вес системного блока прибора
|
< 500 кг
|
Источник света
|
Белый свет LED
|
Система изображения
|
1024X1024
|
Интерференционный объектив
|
10X,(2.5X,5X, 20X,50X,100X)
|
Оптический ZOOM
|
0.5X, (0.75X , 1X , 0.375X )
|
Стандартное поле обзора
|
0.98X0.98мм
|
Вышка объектива
|
5 электрических отверстий
|
XY перемещающаяся платформа
|
Размер
|
450X450мм
|
|
Диапазон перемещения
|
300X300мм
|
|
Нагрузка
|
10кг
|
|
Способ управления
|
Электрический
|
Настройка уровня
|
±6°,электрический
|
Фокус оси Z
|
Ход
|
100мм
|
Способ управления
|
Электрический
|
Диапазон сканирования направления Z
|
10мм
|
Разрешение направления Z
|
0.1нм
|
Измеримый коэффициент отражения образца
|
0.05%-100%
|
Повторяемость RMS шероховатости
|
0.005нм
|
Измерение шага
|
Точность
|
0.3%
|
|
Повторяемость
|
0.08% 1σ
|
Экологические требования
|
|
1
|
Рабочая среда: нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа.
|
4
|
Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше
|
|
2
|
Рабочая температура: 15°С~30°С, температурный градиент 2°С/60 мин
|
5
|
Источник воздуха с виброизоляцией: источник
чистого воздуха,
0.8 Mpa регулирование давления источника
чистого воздуха, обезжиривание, осушение, диаметр воздушной трубы 6 мм (опционально)
|
|
3
|
Относительная влажность: 5–95 %RH, без конденсации влаги.
|
6
|
Источник питания: 330 Вт
|
Прочие требования
|
|
1
|
Источник света не следует держать в ярком режиме в течение длительного времени.
|
2
|
Не шатайте прибор руками во время измерения.
|