Конфокальный профилометр с интерференцией белого света Nanometric IntCon

Конфокальный профилометр IntCon с интерферометром белого света - это контрольный прибор для субнанометровых измерений для широкого спектра прецизионных устройств и поверхностей материалов

Он объединяет в себе характеристики двух высокоточных приборов для 3D-измерений: интерферометра белого света и конфокального микроскопа - для бесконтактного сканирования и создания 3D-изображения поверхности

При измерении гладких и прозрачных поверхностей используется режим интерференции белого света для получения высокоточных изображений без искажений и анализа шероховатости и других параметров; при измерении шероховатых поверхностей с острыми углами используется режим конфокального микроскопа для получения 3D-изображения под большим углом, с помощью системного программного обеспечения для обработки и анализа данных 3D-изображения поверхности образца и получения отражающих ее качество 2D и 3D параметров, тем самым реализуя 3D-измерение топографии поверхности устройства



Конфокальный профилометр IntCon с интерференцией белого света может быть широко использован в полупроводниковом производстве и инспекции процессов C электронных стеклянных экранах и их прецизионных частях, оптической обработке, микро-нано материалах и производстве, автомобильных деталях, микроэлектромеханических устройствах и других ультра-точных обработках аэрокосмической и оборонной промышленностях, научно-исследовательских институтах и других областях

Прибор может измерять все виды поверхностей: от ультра гладких до шероховатых, от поверхностей с низкой до высокой отражательной способностью, заготовок от нано- до микронного уровня, оценивая такие параметры как шероховатость, плоскостность, микрогеометрический контур, кривизну, а также еще в общей сложности более 300 видов 2D и 3D параметров на основе отечественных и четырех основных международных стандартов ISO/ASME/EUR/GBT в качестве оценки

Характеристики товара

• Возможность измерения с разрешением 0,1 нм, как интерферометр белого света, а также возможность измерения острого угла, приближающегося к 90°, как конфокальный микроскоп;
• Функции измерения шероховатости и размеров контуров, таких как высота и углы ступеней, которые характеризуют микроформы;
• Автоматические вспомогательные функции, такие как автофокусировка, автопоиск полос, автоматическая регулировка яркости и т.д. во время измерений;
• Предусмотрено автоматическое измерение склейки и позиционирование автоматического измерения нескольких областей;
• Анализ предусматривает четыре основных модуля обработки данных, таких как выравнивание, ретуширование изображений, денуазирование и фильтрация, а также выделение областей;
• Анализ обеспечивает пять основных функций анализа, таких как анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ;
• Вспомогательные функции анализа, такие как анализ одним щелчком мыши и анализ нескольких файлов.

Области применения

Измерение и анализ характеристик поверхности, таких как плоскостность, шероховатость, волнистость, контур поверхности, дефекты поверхности, износ, коррозия, пористость, высота ступеньки, деформация при изгибе, механическая обработка и другие характеристики поверхности различных изделий, компонентов и поверхностей материалов

Примеры применения

Эксплуатационные характеристики

1. Интерференция белого света, режим конфокального микроскопа "два в одном"
   - При измерении рельефа сверх гладких и прозрачных поверхностей можно использовать режим интерференции белого света для получения высокоточных изображений без искажений и анализа шероховатости и др. параметров;
   - При измерении шероховатых поверхностей с острыми углами используется режим конфокального микроскопа для получения трехмерных топографических изображений под большими углами;
   
   
2. Функция обнаружения шума окружающей среды
   Модуль обнаружения шума окружающей среды с разрешением 0,1 нм позволяет количественно оценивать вибрационные помехи внешней среды на оси сканирования прибора и предоставляет количественные данные о шуме в качестве поддержки при отладке оборудования, ежедневном мониторинге и устранении неполадок.
   
   
3. Высокоточная рукоятка манипулятора
   Интегрированная функция регулировки смещения в направлениях X, Y и Z рукоятки манипулятора позволяет быстро выполнить позиционирование несущего стола, фокусировку в направлении Z, поиск полос и другие предварительные настройки.
   
   
4. Двойная защита от столкновений
   Помимо основного программного обеспечения ZSTOP, устанавливающего нижний предел перемещения по оси Z для защиты от столкновений, разработана дополнительная защита от столкновения с механическими и электронными датчиками, когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически переходит в состояние аварийной остановки, максимально защищая прибор, снижая риск человеческого фактора.
   
   
5. Двухканальная система виброизоляции при воздушной флотации
   Прибор может быть подключен либо к стабильному источнику воздуха на объекте заказчика, либо к стандартному бесшумному воздушному компрессору.