Вертикальные боксы для транспортировки кремниевых пластин — это специализированные защитные контейнеры, используемые в полупроводниковой промышленности для безопасного хранения и транспортировки хрупких кремниевых пластин. Они удерживают пластины вертикально в отдельных пазах, предотвращая соприкосновение хрупких поверхностей друг с другом или со стенками контейнера. Эти контейнеры являются неотъемлемой частью чистых помещений и производства кремниевых пластин.
Особенности:
• Материал: проводящий полипропилен
• Цвет: черный
• Поверхностное сопротивление, Rs: 104 - 109 Ом
• Вертикальное размещение надежно фиксирует пластины, закрепленные на рамках
• Точно сформованные пазы фиксируют рамки, а внутренняя конфигурация обеспечивает опору для самой рамки (металлической или пластиковой), а не для поверхности пластины, что предотвращает соскальзывание и появление микротрещин
• Пружинная конструкция верхней крышки эффективно предотвращает смещение рамок и защищает пластины от повреждения
• Материал кассеты обеспечивает низкий уровень ионного загрязнения и минимальное газовыделение, соответствуя самым строгим требованиям к упаковке пластин в чистых помещениях
Технические характеристики:
• Размер пластины: 300 мм (12")
• Вместимость, max: 13 шт.
• Внешние размеры (ДхШхВ): 397,5x228x415,5 мм