Модель / Характеристики
|
Основные функции
- Базовая модель C3
-
Конфокальное изображение в белой области видимого спектра
|
Множество функций
- Стандартная модель L3
-
Конфокальное изображение в белом свете
-
Лазерное конфокальное изображение
|
Различные области применения
- Модель высшего класса L7
-
Конфокальное изображение в белом свете
-
Лазерное конфокальное изображение
-
Дифференциальная интерференция
-
Измерение оптическими интерференционными методами
-
Измерение толщины пленки посредством спектроскопической рефлектометрии
|
Источник света
|
Лазер
|
—
|
405 нм
|
405 нм
|
Ксенон / Hg-Xe
|
R,G,B
|
R,G,B
|
436 нм, 486 нм, 514 нм, 546 нм, 578 нм, 633 нм, белый свет
|
Поле обзора / увеличение
|
|
Объектив
|
Увеличение на 24-дюймовом экране
|
Поле обзора (HxV)
|
Белый свет
|
1×
|
18,5×
|
15 000×15 000 μм
|
2,5×
|
46,2×
|
6 000×6 000 μм
|
5×
|
92,5×
|
3 000×3 000 μм
|
10×
|
185×
|
1 500×1 500 µм
|
20×
|
370×
|
750×750 μм
|
50×
|
925×
|
300×300 μм
|
100×
|
1,850×
|
150×150 μм
|
150×
|
2,775×
|
100×100 μм
|
Лазер
|
50×
|
1,850×
|
—
|
150×150 μм
|
100×
|
3,700×
|
—
|
75×75 μм
|
150×
|
5,550×
|
—
|
50×50 μм
|
Масштабирование
|
1~8×
|
Память кадров
|
Яркость
|
1024×1024×12 бит / Режим высокого разрешения 2048×2048×12 бит
|
Высота
|
1024×1024×16 бит / Режим высокого разрешения 2048×2048×16 бит
|
Частота кадров
|
15 Гц~120 Гц
|
Измерение ширины
|
Минимальная единица измерения
|
0,001 μм
|
Точность
|
± [ 0,02×(10 0/Увеличение объектива)+L/10 00 ] μм
|
Воспроизводимость (3σ) *
|
10 нм
|
Измерение высоты
|
Разрешение шкалы
|
0,1 нм
|
Точность
|
±(0,11+ L/100)μм
|
Воспроизводимость (σ) * *
|
10 нм
|
Диапазон измерения * * *
|
7 мм
|
Ход по оси Z
|
100 мм
|
80 мм
|
Револьвер
|
Приводной вращающийся револьвер с 5 отверстиями (с автоматическим распознаванием положения объектива)
|
Предметный столик с осями XY
|
Ручное управление
|
○
|
—
|
С приводом
|
Опции
|
○
|
Дифференциальная интерференционная контрастная микроскопия
|
Опции
|
○
|
Измерение оптическими интерференционными методами
|
Опции
|
○
|
Измерение методом спектроскопической рефлектометрии
|
Опции
|
○
|
Программное обеспечение
|
Захват изображения
|
Небольшие участки, режим HDR, пик поиска, первый пик, множественное усиление и т.д.
|
Основные функции
|
Измерение высоты, ширины линии и шероховатости поверхности ( JIS, ISO), вывод 3D данных
|
Обработка изображений
|
Фильтр, коррекция наклона, бинаризация, устранение передних отклонений, преобразование глубины в битах, преобразование размера, цветовой баланс и т.д.
|
Расчет геометрических характеристик
|
Около 20 характеристик, включая зону, объем, площадь поверхности, диаметр Фере, центр, округлость, максимальную длину, отношение ширины к длине и т.д.
|
Формирование отчета
|
Схема, база данных изображений, шаблон, расширение файла, пакетное преобразование
|
Питание
|
100-240 В перем. тока, 50/60 Гц, 1, 500 ВА
|
Размеры и вес
|
Микроскоп
|
382 (Ш) × 511 (Г) × 669 (В) мм / 41 кг
|
Блок управления
|
431 (Ш) × 450 (Г) ×106 (В) мм / 7,1 кг
|
Источник света
|
142 (Ш) × 311 (Г) ×227 (В) мм / 6,7 кг
|
ПК
|
175 (Ш) × 417 (Г) ×360 (В) мм / 9,6 кг
|
Прослеживаемость
|
○
|