Металлическая кассета для пластин - это специализированный термостойкий держатель, предназначенный для безопасной транспортировки, хранения и обработки хрупких кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности.
Особенности:
• Конструкция кассеты на заклепках обеспечивает устойчивость к деформации и высокую долговечность
• Материал кассеты - высококачественный алюминиевый сплав является чрезвычайно износостойким
• Кассеты обеспечивают надежную фиксацию и безопасную перевозку пластин между этапами технологического процесса, предотвращая их повреждение и загрязнение
• Кассеты рассчитаны на работу при высоких температурах, что делает их идеальным решением для таких процессов, как химическое осаждение из газовой фазы, при которых кассеты из неметаллических материалов могут деформироваться.
• Кассеты используются для удержания пластин на различных этапах тестирования, обеспечивая точное выравнивание и контакт с электрическими датчиками
• Токопроводящие металлические кассеты способствуют отводу статического электричества, защищая чувствительные поверхности пластин от повреждений, вызванных электростатическим разрядом
• Стандартизированные размеры и конструктивные особенности позволяют легко интегрировать кассеты в автоматизированные системы и использовать их совместно с роботизированными манипуляторами в чистых помещениях
Технические характеристики:
• Размер пластин: 300 мм (12")
• Внешние размеры (ДхШхВ): 424,4 x 420 x 192,5 мм
В комплект входят:
• Верхняя панель из органопластика