Металлическая кассета для пластин - это специализированный термостойкий держатель, предназначенный для безопасной транспортировки, хранения и обработки хрупких кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности.
Особенности:
• Материал: ПOM (полиоксиметилен)
• Кассеты отличаются высокой термостабильностью, химической стойкостью и жесткостью конструкции
• Кассеты обеспечивают защиту от загрязнений и надежную сохранность пластин в условиях высоких температур, а так же защиту от воздействия химических веществ
Технические характеристики:
• Размер пластин: 150 мм (6")
• Внешние размеры (ДхШхВ): 178 x 171 x 167,5 мм
• Шаг пазов: 9,5 мм
• Ширина паза: 7,5 мм
• Количество пазов: 13