Размер (мм)
|
850 x 900 x 1500 (ширина x глубина x высота)
|
Источник электронов
|
Вольфрамовая нить, LaВ6, СеВ6, автоэмиссия
|
Разрешение
|
Автоэмиссия (1.5 нм) / СеВ6, LaВ6 (2.5 нм) / W (4 нм)
|
Увеличение
|
x20 - x300,000
|
Вакуумная система электронной пушки
|
W:10-6 торр / CeB6, LaB6
Автоэмиссия:10-10
торр
|
Ускоряющее напряжение
|
0.5 – 30 кВ
|
Цикл
|
X : ±40 мм / Y: ±40 мм
Z: от 5 до 50 мм / T: -20°- 60° R: 360°
|
Опция
|
BSE, EDS, LM/FM
|
Источник электронов
|
W-нить, СеВ6, LaB6, автоэмиссия
|
Детектор
|
SE, BSE
EDS (опция), LM/FM (опция)
|
Разрешение
|
1.5 нм (FE), 2.5 нм (СеВ6/LaB6, 4 нм (W)
|
Увеличение
|
X30 ~ х300,000,
*x300 ~ x300,000(зеркало внутри)
|
Зона видимости
|
3 мм, *0.6 мм (зеркало внутри)
|
Система вакуума
|
Ротационный насос, турбомолекулярный насос, магниторазрядный насос (для LaB6, автоэмиссии)
|
Цикл
|
Механизированный по 5 осям
X: 0~40 мм
Y: 0~40 мм
Z: 5~50 мм
T: -20~60°
R: 360°
|
Максимальный размер образца
|
Ширина: 40 X 40 мм
Высота: 45 мм
|
Размер (ширина x глубина x высота)
|
Основной блок: 850 x 900 x 1500 мм
Блок управления: 500 x 530 x 580 мм
Ротационный насос: 400 x 150 x 200 мм
|
Автоматическая функция
|
Автофокусировка, автоматическая яркость/ контрастность, авторегулировка пушки
|
Дисплей
|
Сканирование изображения: RED(320x240), FAST(640 x 480), SLOW1 (640 x 480), SLOW2 (640 x 480)
Сканирование фото: 640 x 480 / 1280 x 960 / 2560 x 1920 / наложение (280 x 960)
|
Формат изображения
|
BMP, JPEG
|
ОС
|
Windows 10
|
Действие
|
Мышь/клавиатура
|
Источник питания
|
1.6 кВт, 220 Вольт одна фаза
|
Опция
|
EDS, LM/FM
|