Установка ионно-лучевого полирования IP-10K

ООО «Остек-АртТул»
121087, г. Москва, ул. Барклая, д. 6, стр. 3, эт/ком 5/1-17
(495) 788-44-44, (495) 788-44-42
www.arttool.ru, info@arttool.ru
ИНН 7731481038, КПП 773001001, ОГРН 5147746189036,
ОКПО 99721242

Установка ионно-лучевого полирования IP-10K

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

IP-10K представляет собой усовершенствованную установку ионно-лучевого полирования, которая предлагает широкий спектр возможностей благодаря множеству опций. Среди них выделяются фрезерование плоскостей, охлаждаемый предметный столик и воздухозащитный модуль

Ионно-лучевое полирование
После полирования наглядно видно, насколько чище выглядит поверхность поперечного сечения после полировки ионным пучком по сравнению с изображениями образцов с трещинами или механической полировкой

Модуль охлаждения
При работе с термочувствительными образцами риск теплового повреждения можно свести к минимуму, используя термоэлектрический охладитель на основе эффекта Пельтье, способный охладить образец до -20ºC

Вакуумный модуль

Если образец может деформироваться в атмосфере, имеется опция защиты. Модуль позволяет выполнять фрезерование и наблюдать за образцом

Ускоряющее напряжение ионов	2-8 кВ
Скорость фрезерования	1000 мкм/ч (при 8 кВ на кремниевой подложке)
Угол поворота предметного столика для образца	±35°
Максимальный размер образца	20 (Ш) × 10 (Д) × 5,5 (Т) мм 16 (Ш) × 10 (Г) × 9,5 (В) мм
Диапазон перемещения образца	Перемещение по оси X: ±3,5 мм Перемещение по оси Y: ±2 мм
Диапазон углов наклона предметного столика при плоскостном фрезеровании	10° - 85°
Образец размера для плоскостного фрезерования	Ø32 × 18 (В) мм
Управление операциями	Сенсорная панель с диагональю 17,78 см
Цифровой микроскоп для позиционирования образца	Кратность увеличения 5x, 10x, 20x, 40x
Внутренняя камера	Для выполнения мониторинга
Кратность увеличения	5x, 10x, 20x, 40x
Регулировка яркости	В 4 шага
Режим	Наблюдение за ионным пучком (светодиодный индикатор отключен)
Инертный газ	Аргон (99,999%)
Давление газа	0.03 МПа - 0.05 МПа
Регулирование расхода газа	Блок управления массовым расходом
Вакуумные системы	Турбонасос, мембранный насос
Размеры	640 (Ш) × 492 (Г) × 282 (465) (В) мм
Вес	Основная система 45 кг / Мембранный насос 6,5 кг
Опции	Воздухозащитный модуль, модуль охлаждения

Установка ионно-лучевого полирования IP-10K

Если образец может деформироваться в атмосфере, имеется опция защиты. Модуль позволяет выполнять фрезерование и наблюдать за образцом

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование