Оптический профилометр IntoM OP100

ООО «Остек-АртТул»
121087, г. Москва, ул. Барклая, д. 6, стр. 3, эт/ком 5/1-17
(495) 788-44-44, (495) 788-44-42
www.arttool.ru, info@arttool.ru
ИНН 7731481038, КПП 773001001, ОГРН 5147746189036,
ОКПО 99721242

Добавить в лист запросов запросить в один клик Заказать звонок

Печать/PDF

Описание
Технические характеристики

Оптическая интерференция белого света Измерение микро-нано 3D-формы в один клик


Интерференционный объектив Линзы с разным увеличением подходят для образцов с различным типом поверхности: от ультрагладкой до шероховатой.	Стенд для вакуумной адсорбции Стенд для вакуумной адсорбции, предназначенный для полупроводниковых пластин, гарантирует, что на образцы не влияют слабые возмущения воздушного потока в воздухе во время процесса измерения	Двуканальная система виброизоляции и воздушной флотации Двухканальная система виброизоляции и воздушной флотации, которая напрямую наполняет воздухом внешний источник газа и устройство для повышения давления, может эффективно изолировать вибрационный шум, исходящий от земли

Изоляция звуковой вибрации Корпус измерительного прибора и механизм внутреннего движения имеют раздельные конструкции, что способствует эффективной изоляции передачи звуковой вибрации	Устройство настройки уровня Наклоните ручку регулировки, чтобы отрегулировать ширину полосы и повысить точность реконструкции 3D-изображений	Удобный рычаг управления Имеет эргономичный дизайн, включает автоматическое управление трехосным XYZ перемещением и скоростью вала, а также яркостью источника света. Оснащен клавишей аварийной остановки

Область применения

Прибор имеет широкое применение в таких промышленных отраслях, как полупроводники, 3С электроника, особовысокоточная обработка, оптическая обработка, микро-наноматериалы, микроэлектромеханика и т.д., а также используется для измерения и анализа шероховатости поверхности, геометрического контура и других параметров прецизионных деталей.

Пример применения

Измерение и анализ характеристик формы поверхности различных изделий: равномерность деталей и поверхности материалов, шероховатость, волнистость, контур формы поверхности, дефект поверхности, износ, коррозия, интервал зазора, высота уступа, деформация изгиба, обработка и т.д.

ПО для измерения и анализа Vision 3D

Интегрированное системное ПО; измерение и анализ выполняются через один и тот же интерфейс, параметры анализа предварительно установлены, ПО автоматически подсчитывает данные измерений и реализует функцию быстрого измерения партии.

Таблица оптических спецификаций

Увеличение объектива			2.5x	5x	10x	20x	50x	100x
Числовая апертура			0.075	0.13	0.3	0.4	0.55	0.7
Оптическое разрешение при 550 нм (мкм)			3.7	2.1	0.92	0.69	0.5	0.4
Глубина резкости (мкм)			48.6	16.2	3.04	1.71	0.9	0.56
Рабочее расстояние (мм)			10.3	9.3	7.04	4.7	3.7	2.0
Поле обзора H x V (мм)	Система изобра- жения 1024×1024	0.5x	3.84×3.84	1.92×1.92	0.96×0.96	0.48×0.48	0.192×0.192	0.096×0.096
		0.75x	2.56×2.56	1.28×1.28	0.64×0.64	0.32×0.32	0.128×0.128	0.064×0.064
		1x	1.92×1.92	0.96×0.96	0.48×0.48	0.24×0.24	0.096×0.096	0.048×0.048

Модель прибора *1		OP100	OP100P	OP100U
Источник света		Белый свет LED
Система изображения		1024X1024
Интерференционный объектив		Стандарт: 10X Опционально: 2.5X, 5X, 20X, 50X, 100X
Оптический ZOOM		Стандарт: 0.5X Опционально: 0.375X, 0.75X, 1X
Стандартное поле обзора		0.98X0.98mm (10Xобъектив, оптический ZOOM 0.5X)
Вышка объектива		Стандарт: 3 ручных отверстия Опционально: 5 электрических отверстий
XY перемещающаяся платформа	Размер	320X200мм	300X300мм	320X200мм
	Диапазон перемещения	140X100мм	200X200мм	140X100мм
	Нагрузка	10кг
	Способ управления	Электрический
Настройка уровня		±5°
Фокус оси Z	Ход	100мм
	Способ управления	Электрический
Диапазон сканирования направления Z		10 мм
Повторяемость формы *2		0.1нм
Повторяемость RMS шероховатости*3		0.005нм
Измерение шага *4		Точность: 0.3 % Повторяемость: 0.08 % (1σ)
Скорость сканирования при разрешении 0.1 мкм		1.85nm/s	1.85nm/s	8Hm/s
Измеримый коэффициент отражения образца		0.05%~100%
Вес измерительного прибора		<160кг
Габариты системного блока (ДХШХВ)		700X606X920мм
Условия окружающей среды	Рабочая температура	15°C ~30°C, Градиент температуры< 1°C/15мин
	Относительная влажность	5%-95%RH, без конденсации влаги
	Вибрация окружающей среды	VC-C или лучше
	Программный мониторинг шума *5	3oW4nm*4
	Источник воздуха с виброизоляцией	0.6Mpa регулирование давления источника чистого воздуха, обезжиривание, осушение, диаметр воздушной трубы 6мм (опционально: без источника воздуха)
	Источник питания	100-240ВПТ, 50/60Гц, 4A Мощность 300Вт
	Прочее	Нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа

1 W — стандартная модель оптического профилометра поверхности; в сравнении с OP100, в OP100P размер и ход предметного столика больше, что подходит для образцов большего размера; по сравнению с OP100, в OP100U скорость измерения значительно увеличена, что подходит для сфер применения, требующих высокой эффективности измерений.

*2 В лабораторных условиях используется модуль EPSI для измерения кремниевой пластины с Sa 0,2 нм, однополосного фильтра с полным полем обзора 80 мкм.

*3 Параметры шероховатости получены путем измерения RMS параметров кремниевой пластины с Sa 0,2 нм в лабораторных условиях в соответствии с международным стандартом ISO 25178.

*4 Параметры эффективности шага получены путем измерения высоты шага стандартного блока (4,7 мкм) в лабораторных условиях в соответствии со стандартом ISO5436-1:2000.

*5 Когда оценка шума программного оборудования составляет 4≤3σ≤10 нм, RMS повторяемость шероховатости снижается до 0,015 нм, точность высоты шага снижается до 0,7 %, а повторяемость высоты шага снижается до 0,12 %; когда оценка шума ПО составляет 3σ>10нм, окружающая среда не соответствует требованиям к использованию оборудования, необходимо изменить место измерения.

Оптический профилометр IntoM OP100

Пример применения

ПО для измерения и анализа Vision 3D

Таблица оптических спецификаций

Запросить в один клик

Заполните форму

Запрос оборудования на тестирование